工作在10-5Pa以上的超高真空機組有擴(kuo)散泵、分(fen)子泵超高(gao)(gao)真(zhen)空機(ji)組(zu)和(he)無油超高(gao)(gao)真(zhen)空機(ji)組(zu).該機(ji)組(zu)有如下特(te)點(dian):

①主泵(beng)極限真空度高，在(zai)10-7~10-8pa以上;

②能經受200~450℃的高溫烘(hong)烤;

③主(zhu)泵返流氣體的分壓力很(hen)低;

④對被抽(chou)氣(qi)體(ti)選擇性強的(de)主泵(beng)，要(yao)配備足夠大的(de)輔助泵(beng);

⑤要求真空室、管道、閥門(men)等部件的材料出(chu)氣(qi)率很(hen)(hen)低，漏(lou)氣(qi)率很(hen)(hen)小。

(1)擴(kuo)散泵(beng)超高真(zhen)空機組(zu)

以擴散泵為主(zhu)泵的超高真(zhen)空機組的極限真(zhen)空度為10-7~10-8Pa。

為減少來自(zi)(zi)擴(kuo)散(san)泵(beng)前(qian)級的(de)(de)(de)氣(qi)體反(fan)(fan)擴(kuo)散(san)和(he)阻擋機械泵(beng)油(you)的(de)(de)(de)反(fan)(fan)擴(kuo)散(san)對極限真(zhen)(zhen)空(kong)度的(de)(de)(de)影響，可在擴(kuo)散(san)泵(beng)前(qian)級申(shen)聯(lian)一(yi)臺抽(chou)速小的(de)(de)(de)擴(kuo)散(san)泵(beng)，以降(jiang)低(di)壓縮比，減小反(fan)(fan)擴(kuo)散(san)。如在擴(kuo)散(san)泵(beng)進氣(qi)口上邊增設鈦升華阱，可進一(yi)步(bu)降(jiang)低(di)來自(zi)(zi)擴(kuo)散(san)泵(beng)的(de)(de)(de)氮(dan)氣(qi)分壓力(li)，能獲(huo)得10-11Pa的(de)(de)(de)超高真(zhen)(zhen)空(kong)。

(2)分(fen)子泵超高真空機組

以分子(zi)泵為主泵的(de)(de)超高真空(kong)機組其極限真空(kong)度為10-8Pa，特(te)點是(shi)啟動快，油的(de)(de)污(wu)染小。

在機組內增(zeng)(zeng)加液氮(dan)冷阱(jing)，可以增(zeng)(zeng)大(da)抽速。機械泵出口(kou)處設(she)有(you)水冷阱(jing)，可以防止油(you)蒸氣(qi)進入系統。

(3)無(wu)油超(chao)高真空機組(zu)

不用油做工作液(ye)和不用有機材料密封的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)機組(zu)稱為(wei)無(wu)油超(chao)高真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)機組(zu)。常(chang)用的主(zhu)泵有低溫泵、鈦泵、濺射(she)離子泵等，可得到極限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度10-7~10-8Pa。與有油真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)機組(zu)比較(jiao)，它有如下優點(dian):

①可獲得清(qing)潔真空、無污(wu)染(ran)源;

②當無(wu)油真空泵(beng)啟動后(hou)，即可隔(ge)離預(yu)抽(chou)泵(beng);

③如突然抽(chou)氣(qi)停止，不(bu)會污染系(xi)統;

④無油、無聲、無振動，改善了工作環(huan)境;

⑤極(ji)限真空度高，抽(chou)速大，抽(chou)氣時(shi)間短。